1. Eelkonditsioneerimine:
See hõlmab marlitoodete (nt marli tampooni, sülerikäsnade) kuumutamist ja niisutamist, et optimeerida steriliseerimise efektiivsust. Eelkonditsioneerimine viiakse mõnikord läbi spetsiaalses eelkonditsioneerimiskambris, et tagada esemete ideaalne temperatuur ja niiskus.
2. Steriliseerimine:
Eelkonditsioneeritud esemed viiakse EO sterilisaatorisse, kus steriliseerimiseks juhitakse gaasi etüleenoksiidi. Steriliseerimise ajal tuleb tõhusa steriliseerimise tagamiseks kontrollida selliseid parameetreid nagu EO kontsentratsioon, temperatuur, niiskus ja aeg.
3. Õhustamine:
Pärast steriliseerimist tuleb esemetelt eemaldada etüleenoksiidi jäägid. Seda saab teha sterilisaatoris olevaid esemeid õhutades või spetsiaalsesse õhutuskambrisse viimisega. Aeratsiooniprotsessi ajal tuleb kontrollida selliseid parameetreid nagu temperatuur, aeg ja õhuvool, et tagada jääkide vähendamine ohutule tasemele.